晶线断裂检测系统

系统概述

       在直拉法单晶硅棒生产过程中，晶棒在液面处慢慢生长为固体晶棒。晶棒在生长过程中，其表面每隔90度形成一条竖直的晶线。由于生产时的不确定因素会导致晶线断裂，产品就不合格。生产中需要监测单晶棒的生长，及时发现晶线断裂并发出告警。如果未及时发现晶线断裂，晶棒会在无晶线的情况下继续生长成为废品。
       通过在单晶硅生长炉观察孔安装相机连续拍摄单晶硅棒的图像、算法软件自动判断晶线是否断裂实现对生长过程的自动监测。

 

                                          

 

                                             正常晶线示例                                                              晶线断裂示例

技术难点

     采集的图像完全是由高温炉内液体和固态晶棒的温度不同而产生的灰度图像，因此图像的对比度较小，给晶线的识别和判断造成了一定的困难。使用深度学习算法，通过大量的样本进行训练，训练得到的深度神经网络能够准确地识别出晶线是否断裂。

检测结果

  

                                        

 

                                                                                         晶线未断裂检测实例

 

 

                                       

                                                                                            晶线断裂检测实例